| 【论文摘要】 | 随着硅基功率MOSFET工艺水平的不断提高,器件的性能指标有了很大的突破,如通态电阻已经低于100mΩ、击穿电压已经达到1500V左右,它们正越来越接近硅材料的理论极限值,进一步提高这些性能参数的难度变的越来越大,因此,降低器件的工作温度,充分发挥硅材料的潜能,正逐渐成为一个重要的研究方向。由于功率MOSFET的作用是用来实现高速的开通和关断,绝大部分失效机理都发生在动态变化过程中,动态特性体现了功率MOSFET的精髓,低温动态特性研究有助于弄清楚器件的低温工作机理,分析低温下器件动态特性参数的变化规律,更好的使用低温功率MOSFET,对未来工程应用有重要的意义。
本文通过大量实验,发现了可在77K~300K范围内稳定工作的功率MOSFET栅极驱动芯片,保证了低温动态特性测试结果的准确性,为未来低温功率器件的工程应用做出了贡献。严格按照器件动态特性测试规范要求,为纯阻性负载和非箝位感性负载两种条件设计出了驱动信号发生电路,并改进了低温容器和电源供电等环节,设计出了一套简单可靠的低温动态特性实验平台,对中等电压等级DMOSFET功率器件的动态特性参数进行了实验测试。
实验结果发现,低温下功率MOSFET... |