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用PLD法沉积YBCO超导薄膜的研究

作者：高菲 Publish: 2006-11-16 Hits:-

【中文题名】

用PLD法沉积YBCO超导薄膜的研究

【英文题名】

The Study of Deposited YBCO Supercnductor Film with PLD

【学科专业】

材料学

【论文级别】

硕士论文

【投稿时间】

2006-11-16

【中关键词】

YBCO,银基带,织构,PLD,,

【英关键词】

YBCO,Ag substrates,texture,PLD,

【分类导航】

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【论文摘要】

本文采用准分子激光法(PLD)在不同取向的单晶和多晶织构的基底上沉积了YBCO薄膜,系统的研究了不同工艺参数,如基片温度、基片与靶材的距离、激光脉冲频率、激光能量、沉积气压、薄膜厚度、薄膜的后处理等对YBCO薄膜的影响,得出了沉积薄膜的最佳工艺。由于银与YBCO超导薄膜不发生反应,用准分子激光法在(100),(110),(111)织构的单晶银基带上沉积YBCO超导薄膜的研究,得出YBCO薄膜在三种单晶银基带上的外延规律主要是[100]YBCO或[010]YBCO//Ag,或者是[100]YBCO或[010]YBCO//Ag,沉积的薄膜(00L)面都平行于银带的表面。在(100)和(111)取向单晶上沉积的YBCO薄膜,虽然都具有一定的面外取向,但是其面内取向杂乱,呈丝织构。(110)取向的银单晶沉积的YBCO薄膜不仅具有强立方织构,而且面内取向集中,(110)取向的银单晶更适合YBCO薄膜的生长。采用PLD方法在{100},{110},{110}和{110}双轴织构的多晶银基带上也直接沉积了YBCO超导薄膜,得出不同织构...

【论文题纲】

摘要	4-5
ABSTRACT	5-8
第1章绪论	8-16
1.1 超导材料的发展历程	8-9
1.2 高温超导带材的研究现状	9-12
1.2.1 高温超导材料概况	9-11
1.2.2 二代高温超导带材的制备	11-12
1.3 PLD 方法的介绍	12-14
1.4 织构的测定	14
1.5 课题意义及研究内容	14-16
第2章实验内容和实验方法	16-20
2.1 PLD 沉积薄膜的实验方法	16-18
2.1.1 银带上最佳沉积工艺的实验方案	16
2.1.2 不同基带上沉积薄膜的实验方案	16-17
2.1.3 实验过程	17-18
2.2 测试分析方法	18-20
第3章 PLD 镀膜工艺的研究	20-34
3.1 基片温度的影响	21-22
3.2 靶距的影响	22-24
3.3 沉积气压的影响	24-26
3.4 脉冲激光能量的影响	26-27
3.5 激光重复频率的影响	27-29
3.6 激光脉冲数量的影响	29-31
3.6.1 不同厚度薄膜的表面微应力	29-30
3.6.2 不同脉冲数目沉积薄膜	30-31
3.7 原位后处理对 YBCO 薄膜微观组织的改	31-32
3.8 本章小结	32-34
第4章在不同衬底上沉积YBCO 薄膜的研究	34-52
4.1 基片温度的影响	34-40
4.1.1 不同取向Ag 单晶上沉积YBCO 的研究	34-39
4.1.2 在（100）取向的STO 单晶上沉积YBCO 的研究	39-40
4.2 在不同织构的多晶衬底上沉积 YBCO 的研究	40-48
4.2.1 在不同织构的多晶Ag 带上沉积YBCO 的研究	40-46
4.2.2 在镀有缓冲层的NiW 合金带上沉积YBCO 的研究	46-48
4.3 不同基底对薄膜表面粗糙度的影响	48-49
4.4 不同基底对薄膜表面应力的影响	49-50
4.5 本章小结	50-52
结论	52-54
参考文献	54-58
攻读硕士学位期间所发表的学术论文	58-60
致谢	60

【DOI】

LunWen.ID:2.2008.134629



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