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| 【中文题名】 | SAW器件基片的无损检测及应用的研究 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【英文题名】 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【学科专业】 | 电子与通信工程 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【论文级别】 | 硕士论文 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【投稿时间】 | 2006-11-28 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【中关键词】 | 声表面波,检测,速度,压电效应,逆压电效应,谐振 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【英关键词】 | SAW,detecting,velocity,piezoelectricity effect,converse piezoelectricity effect,resonation frequency, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【分类导航】 | 工业技术>无线电电子学、电信技术>电子元件、组件>声光器件>> | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【论文摘要】 | 压电材料是SAW器件基本材料,该基片材料是影响SAW器件性能的一个决定性因素。在压电基片的各项性能中,SAW的传播速度是最重要的指标之一,它直接决定了器件的谐振频率,所以在SAW器件的批量生产中了解基片声表面传播速度及其一致性显得非常重要。 在目前国内外对表面声速检测的报告中,检测方法不是破坏性检验就是过程复杂,均不可能作为批生产中一种常规的检测手段。 在本论文的研究实验过程中,给出了一种方便、有效、无损、快捷的检测压电材料表面声速的设计与实现,该设计中运用材料的压电效应和逆压电效应激励和接收SAW,并运用检测谐振频率的方法计算测量SAW速度,同时给出了对不同材料的实际测试结果以及与资料典型值的对比。在生产运用中,主要解决以下几个问题: 1)对压电基片的SAW传播速度无损测量,在生产中对不同速度的晶片进行分类使用,应用于生产以便对频率一致性进行控制。 2)对回收片、混淆片制定了可操作的无损快速分辨目前常用的压电基片的手段和规范,应用于生产。 3)利用该仪器无损快捷的测量特点,对不同方法背面处理后的晶片进行分析测量,分析其对不同体声波寄生响应的抑制作用,以及对S... | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【论文题纲】 |
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| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.343715 |
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