| 【中文题名】 | BST铁电移相器材料及其高频介电性能测试研究 |
| 【英文题名】 | Research of Preparing BST Ferroelectric Phase Shifter and High Frequency Permittivity Testing |
| 【学科专业】 | 微电子学与固体电子学 |
| 【论文级别】 | 硕士论文 |
| 【投稿时间】 | 2007-4-27 |
| 【中关键词】 | BST铁电材料,溶胶—凝胶法,传输反射法,介电性能,高频微波测试, |
| 【英关键词】 | BST ferroelectric material,Sol-Gol method,Permittivity performance,Translation/Reflection method,High frequency microwave test, |
| 【分类导航】 | 工业技术>无线电电子学、电信技术>电子元件、组件>微波传输控制元件>移相器、铁氧体移相器> |
| 【论文摘要】 |
因其独特的铁电、压电及热电性能,钛酸锶钡( Ba_(1-x) Sr)x TiO)3,BST)铁电陶瓷介质材料以其室温下的高介电常数、高调谐性和低介电损耗等优点,而成为国内外研究的热门。但目前为止,对于高频下电介质材料的高介电常数测试,国内外还没有一个统一、成熟的标准和技术。因而,BST铁电材料高频介电性能的测量方法和技术的研究具有创新意义和良好的应用前景。
基于铁电体理论,本论文研究了BST介质材料的介电性能、频率性能等物理特性及其与材料元素的组分、晶格结构等的关系;在此基础上,进行了BST材料的制备工艺研究;对BST粉体样品进行了SEM(Scanning Electron Microscope,扫描电子显微镜)、XRD(X射线衍射)、DSC(Differential Scanning Calorimatry差热扫描量热分析)等测试分析,根据测试结果,对实验的配方、工艺条件、工艺过程控制等进行了优化改进,确定了BST铁电陶瓷材料的烧结曲线和工艺;XRD及SEM测试分析结果表明,BST样品组分稳定、结晶状况良好,晶粒直径在几十至一百纳米;采用先进的溶胶-凝胶法,通过掺杂MgO和Bi_2O_3,... |
| 【论文题纲】 |
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摘要 |
4-5 |
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ABSTRACT |
5-8 |
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第一章 绪论 |
8-14 |
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1.1 本课题的研究背景与意义 |
8-9 |
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1.2 BST 铁电材料的制备与测试研究现状 |
9-11 |
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1.2.1 BST 铁电材料的制备及应用研究现状 |
9-10 |
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1.2.2 BST 铁电材料高频介电性能测试研究 |
10-11 |
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1.3 本课题的研究目标 |
11 |
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1.4 本论文的主要研究工作 |
11-14 |
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第二章 铁电体理论 |
14-26 |
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2.1 铁电材料概述 |
14-15 |
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2.2 BST 铁电陶瓷的晶体结构和相变 |
15-17 |
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2.3 BST 铁电介质材料的介电性能 |
17-23 |
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2.3.1 介电常数与居理温度 |
17-18 |
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2.3.2 BST 铁电陶瓷的介电非线性及其机理 |
18-19 |
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2.3.3 介质损耗 |
19-21 |
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2.3.4 晶粒尺寸对介电-温度曲线的影响 |
21-23 |
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2.4 BST 铁电材料的频率特性 |
23-26 |
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第三章 微波材料参数测试方法 |
26-36 |
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3.1 网络参数法 |
27-30 |
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3.2 谐振法 |
30-34 |
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3.3 测试技术与测试仪器 |
34-36 |
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第四章 BST 陶瓷材料的制备 |
36-52 |
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4.1 BST 陶瓷的制备工艺 |
36-40 |
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4.2 Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/MgO 陶瓷的制备 |
40-52 |
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第五章 BST 材料的高频测试 |
52-75 |
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5.1 传输/反射法测试系统原理框图 |
52 |
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5.2 传输/反射法测试原理 |
52-55 |
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5.3 NRW T/R 法的分析研究 |
55-61 |
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5.3.1 NRW T/R 法的优缺点 |
55-56 |
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5.3.2 NRW T/R 法的分析解决 |
56-61 |
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5.4 BST 材料介电性能测试结果与分析 |
61-75 |
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5.4.1 BST 材料介电性能的测试 |
61-67 |
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5.4.2 BST 材料测试厚度与频率和介电常数关系模拟仿真分析 |
67-75 |
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第六章 结论 |
75-77 |
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6.1 全文总结 |
75 |
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6.2 展望 |
75-77 |
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致谢 |
77-79 |
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参考文献 |
79-83 |
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研究成果 |
83 |
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| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.343751 |