| 【中文题名】 | 锂—钛同时内扩散制备近化学计量比Ti:LiNbO_3光波导的动态模拟 |
| 【英文题名】 | Dynamic Simulation for Li-Ti Indiffusion Simultaneous: Fabrication of Near-stoichiometric Ti: LiNbO_3 Optical Waveguide |
| 【学科专业】 | 光学工程 |
| 【论文级别】 | 硕士论文 |
| 【投稿时间】 | 2007-4-17 |
| 【中关键词】 | LiNbO_3晶体,气相输运平衡,Ti扩散,近化学计量比光波导,动态模拟,有限差分方法 |
| 【英关键词】 | LiNbO_3 crystal,Vapor transport equilibration,Ti diffusion,Dynamic simulation,Finite difference method,Near-stoichoimetric optical waveguide, |
| 【分类导航】 | 工业技术>无线电电子学、电信技术>光电子技术、激光技术>波导光学与集成光学>光波导> |
| 【论文摘要】 |
本论文在国内外首次对在同成分LiNbO_3基底上同时进行气相输运平衡(vapor transport equilibration, VTE)处理和Ti扩散以制备近化学计量比光波导的物理过程进行了动态模拟研究。
本文先对VTE过程进行了动态模拟。根据Fick定律建立了描述Li扩散的模型,采用隐式有限差分方法对扩散方程和边界条件进行处理,得到差分方程。为求解差分方程,我们首先确定了不同切向LiNbO_3晶体中Li的扩散系数与晶体内Li_2O浓度之间的关系,其过程如下:(1)对Li_2O浓度的实验数据进行拟合;(2)用Boltzman-Matano方法处理拟合得到的Li_2O浓度数据。之后模拟了对不同厚度和不同切向(Z切和X切)LiNbO_3晶体进行VTE处理的动态过程,给出了各晶体中[Li]/[Nb]随时间变化的曲线。为了检验数值方法的可靠性,我们将VTE条件为1100℃/24h的数值结果与已报导的实验数据进行了比较,结果发现理论与实验符合较好。由于扩散型光波导波导层厚度一般小于20μm,我们着重分析讨论了深度小于20μm内的平均[Li]/[Nb]值随时间变化的结果,阐明了不同晶体厚度对同一深度... |
| 【论文题纲】 |
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中文摘要 |
3-4 |
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ABSTRACT |
4-8 |
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第一章 绪论 |
8-14 |
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1.1 引论 |
8 |
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1.2 光波导在集成光学中的应用 |
8 |
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1.3 光波导研究新进展 |
8-13 |
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1.3.1 光波导的分类 |
8-10 |
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1.3.2 产品开发情况 |
10-13 |
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1.4 本论文的工作和意义 |
13-14 |
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第二章 光在波导中传播的理论 |
14-30 |
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2.1 介质光波导 |
14-16 |
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2.2 平面电磁波的反射与折射 |
16-21 |
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2.2.1 反射定律和折射定律 |
16-17 |
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2.2.2 菲涅耳(Fresnel)公式 |
17-18 |
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2.2.3 全反射全反射时的相移 |
18-20 |
|
2.2.4 古斯-汉欣(Goos-Haenchen)位移 |
20-21 |
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2.3 介质平板波导分析 |
21-24 |
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2.3.1 均匀平板波导的模式方程 |
21-23 |
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2.3.2 非均匀平板波导的模式方程 |
23-24 |
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2.4 条形介质波导 |
24-30 |
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2.4.1 马卡梯里法 |
25-27 |
|
2.4.2 有效折射率法 |
27-30 |
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第三章 LiNbO_3晶体的气相输运平衡处理 |
30-43 |
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3.1 LiNbO_3晶体介绍 |
30-33 |
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3.1.1 同成分LiNbO_3晶体 |
30-31 |
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3.1.2 同成分LiNbO_3晶体的制备 |
31 |
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3.1.3 近化学计量比LiNbO_3晶体 |
31-32 |
|
3.1.4 获得近化学计量比LiNbO_3晶体的方法 |
32-33 |
|
3.2 气相输运平衡技术介绍 |
33-34 |
|
3.3 气相输运平衡过程的数值仿真 |
34-43 |
|
3.3.1 数值仿真公式推导 |
34-35 |
|
3.3.2 气相输运平衡过程中Li的扩散系数的求解 |
35-37 |
|
3.3.3 数值计算结果与误差分析 |
37-43 |
|
第四章 Ti:LiNbO_3光波导 |
43-54 |
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4.1 Ti:LiNbO_3光波导的制程 |
43-44 |
|
4.2 Ti:LiNbO_3光波导理论 |
44-48 |
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4.2.1 Ti扩散过程分析 |
44-46 |
|
4.2.2 Ti:LiNbO_3平板波导理论 |
46-47 |
|
4.2.3 Ti:LiNbO_3条波导理论 |
47-48 |
|
4.3 Ti扩散过程的数值仿真 |
48-52 |
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4.3.1 已有数值仿真方法总结 |
48-49 |
|
4.3.2 数值仿真公式推导 |
49-50 |
|
4.3.3 数值计算结果与误差分析 |
50-52 |
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4.4 Ti扩散对LiNbO_3晶体折射率的影响 |
52-54 |
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第五章 Li-Ti同时内扩散制备光波导 |
54-66 |
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5.1 实验及数据处理 |
54-58 |
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5.1.1 光波导模式测量 |
54-55 |
|
5.1.2 Ti浓度轮廓的测量 |
55-58 |
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5.2 Li与Ti扩散同时进行时Ti扩散过程的分析 |
58-60 |
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5.3 VTE与Ti扩散同时进行时Ti扩散的数值仿真 |
60-66 |
|
5.3.1 数值仿真公式推导 |
60-61 |
|
5.3.2 几个参数的确定 |
61-63 |
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5.3.3 数值计算结果与误差分析 |
63-66 |
|
参考文献 |
66-69 |
|
发表论文及科研情况说明 |
69-70 |
|
致谢 |
70 |
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| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.23644 |