| 【中文题名】 | 临界角法在聚焦伺服系统中的应用 |
| 【英文题名】 | Application of Critical-angle Method on the Focus Servo |
| 【学科专业】 | 测试计量技术及仪器 |
| 【论文级别】 | 硕士论文 |
| 【投稿时间】 | 2002-11-20 |
| 【中关键词】 | 临界角方法,误差,离焦误差信号,聚焦伺服,离焦, |
| 【英关键词】 | critical angle method,error,out-of-focus error signal,focus servo,out-of-focus, |
| 【分类导航】 | 工业技术>机械、仪表工业>仪器、仪表>光学仪器>物理光学仪器> |
| 【论文摘要】 |
本文针对伺服系统中常用的调焦方法-临界角方法进行了分析，理论上得到临界角棱镜的折射率、物镜的数值孔径与离焦误差信号的关系。并模拟实际系统，实验得出当临界角棱镜的折射率n=1.7979、物镜的数值孔径NA=0.625时，离焦量与离焦误差信号的关系曲线。比较分析了实验曲线与理论曲线的不同，并就引起这些不同的原因进行了分析讨论。
着重分析了临界角棱镜位置误差与制造误差；物镜的位置误差与像差；偏振分束棱镜的位置误差与制造误差；探测器的位置误差等对离焦误差信号的影响，并给出了理论曲线。 |
| 【论文题纲】 |
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中文摘要 |
3-4 |
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ABSTRACT |
4-5 |
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目录 |
5-7 |
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第一章 绪论 |
7-16 |
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§1．1 刀口法 |
7-9 |
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§1．2 临界角法 |
9-11 |
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§1．3 像散法 |
11-12 |
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§1．4 离轴探测法 |
12-14 |
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§1．5 准直小孔法 |
14 |
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§1．6 本文研究的主要内容 |
14-16 |
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第二章 临界角方法的初步研究 |
16-24 |
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§2．1 临界角法的测量原理 |
16-18 |
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§2．2 临界角棱镜的折射率对离焦误差信号的影响 |
18-22 |
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§2．3 物镜的数值孔径NA对离焦误差信号FES的影响 |
22-24 |
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第三章 实验研究 |
24-29 |
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§3．1 实验研究 |
24-28 |
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§3．2 实验分析 |
28-29 |
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第四章 临界角棱镜对离焦误差信号影响的分析 |
29-44 |
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§4．1 临界角棱镜位置误差对离焦误差信号的影响 |
29-39 |
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§4．2 临界角棱镜的制造误差对离焦误差信号的影响 |
39-43 |
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§4．3 结论 |
43-44 |
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第五章 物镜与离焦误差信号关系的分析 |
44-49 |
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§5．1 物镜的位置误差与离焦误差信号的关系 |
44-46 |
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§5．2 物镜的制造误差与离焦误差信号的关系 |
46-47 |
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§5．3 物镜的像差对离焦误差信号的影响 |
47-48 |
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§5．4 结论 |
48-49 |
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第六章 偏振分束棱镜与光电探测器对离焦误差信号的影响的分析 |
49-56 |
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§6．1 偏振分束棱镜的位置误差对离焦误差信号的影响 |
49-54 |
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§6．2 偏振分束棱镜的制造误差对离焦误差信号的影响 |
54 |
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§6．3 光电探测器定位误差对离焦误差信号的影响 |
54-55 |
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§6．4 结论 |
55-56 |
|
结论 |
56-57 |
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附录一． 坐标旋转时旋转矩阵的数学公式推导 |
57-59 |
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致谢 |
59-60 |
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参考文献 |
60-61 |
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| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.94716 |
