| 【中文题名】 | 单平板剪切干涉仪重构波面 |
| 【英文题名】 | One-plate Interferometer and Fitting Wavefront |
| 【学科专业】 | 光学 |
| 【论文级别】 | 硕士论文 |
| 【投稿时间】 | 2005-8-26 |
| 【中关键词】 | 剪切干涉,重构波面,Zernike,,, |
| 【英关键词】 | one-plate shearing interferometer,wavefront analysis,Interferogram, |
| 【分类导航】 | 工业技术>机械、仪表工业>仪器、仪表>光学仪器>物理光学仪器>干涉仪 |
| 【论文摘要】 | 近些年来随着我国科学技术的飞速发展,在很多大型生产和生活当中都需要进行精密的检测工作。其中大部分都是利用光学的各种干涉、衍射特性来实现和完成的。通过光学干涉的途径检测主要是利用两个波前,它们彼此之间所形成的干涉条纹的特征来作为参考的依据,通过与标准样本的对比(如:干涉图样缺损、干涉条纹弯曲度形变等等)来比较检测结果的好坏。通常使用的干涉法主要为标准面干涉法。而剪切干涉则属于共路干涉当中比较具有典型性和代表性的一种。本论文就是利用剪切干涉法中比较典型的单平板剪切干涉仪,建立一套比较完整、简便的光检测系统来恢复实际波前情况,判别未知波前的缺失。
本论文是这样安排的:
第一章为导论主要介绍了论文题目来源、意义以及剪切干涉的发展和特性;
第二章波前横向剪切干涉检测理论主要介绍了剪切干涉基本原理,以及可能影响到实验的一些因素;
第三章主要介绍了几种比较经典的一维处理剪切干涉图样方法;
第四章介绍并详细推导了常用多维解析方法中理论基础以及Zernike 多项式各种坐标基底下的展开系数; |
| 【论文题纲】 |
|
提要 |
6-8 |
|
前言 |
8-10 |
|
第一章 导论 |
10-16 |
|
1.1 论文的题目来源及意义 |
10-11 |
|
1.2 剪切干涉的发展和特性 |
11-16 |
|
第二章 横向剪切干涉检测理论 |
16-27 |
|
2.1 横向剪切干涉测量技术及基本原理 |
16-18 |
|
2.2 由横向剪切干涉条纹求解波面 |
18-21 |
|
2.2.1 波前形状与干涉条纹 |
18-20 |
|
2.2.2 根据横向剪切干涉图求原始波前 |
20-21 |
|
2.3 剪切量、参考点及影响条纹对比度的因素 |
21-27 |
|
2.3.1 剪切量的选取 |
21-24 |
|
2.3.2 参考点的选取 |
24-25 |
|
2.3.3 影响剪切干涉图对比度的因素 |
25-27 |
|
第三章 一维干涉图样重构法 |
27-39 |
|
3.1 最小二乘法 |
27-29 |
|
3.1.1 利用最小二乘法拟合的基本原理 |
27-28 |
|
3.1.2 最小二乘法的求解 |
28-29 |
|
3.2 一维联立解析法 |
29-39 |
|
3.2.1 描点插值法 |
29-31 |
|
3.2.2 解析法 |
31-39 |
|
第四章 多维重构波面方法 |
39-53 |
|
4.1 二维联立解析法 |
39-42 |
|
4.2 多项式拟合法 |
42-51 |
|
4.2.1 Zernike 多项式简介 |
42-44 |
|
4.2.2 Zernike 多项式的修正 |
44-47 |
|
4.2.3 Zernike 多项式的波面重构 |
47-51 |
|
4.3 极坐标转化为直角坐标系下Zernike 多项式表达 |
51-53 |
|
第五章 单平板剪切干涉仪拟合波前 |
53-68 |
|
5.1 单平板剪切干涉原理及本实验用到方法的简单介绍 |
53-56 |
|
5.1.1 单平板剪切干涉仪基本原理 |
53-54 |
|
5.1.2 本实验中拟合波前方法的简单介绍 |
54-56 |
|
5.2 实验装置图及其描述 |
56-59 |
|
5.3 单平板剪切干涉图样的获取和数据处理 |
59-68 |
|
论文总结 |
68-70 |
|
参考文献 |
70-73 |
|
论文发表情况 |
73-74 |
|
中文摘要 |
74-79 |
|
Abstraction |
79-84 |
|
致谢 |
84-85 |
|
作者及导师简介 |
85 |
|
| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.94820 |
