| 【中文题名】 | 柱面镜装校技术与绝对检验研究 |
| 【英文题名】 | The Technic of the Computer-aided Alignment and Absolute Test in Cylinder |
| 【学科专业】 | 光学工程 |
| 【论文级别】 | 硕士论文 |
| 【投稿时间】 | 2006-12-6 |
| 【中关键词】 | 柱面,绝对检验,辅助装校,空间一致性,, |
| 【英关键词】 | cylinder,absolute test,computer-aided alignment,space consistency, |
| 【分类导航】 | 工业技术>机械、仪表工业>仪器、仪表>光学仪器>> |
| 【论文摘要】 | 一般的光学系统是由透镜、棱镜及分光镜、反射镜等光学零件组成，其面形通常是球面和平面两大类。因其独特的光学性能，柱面系统随着高科技的迅猛发展，其应用越来越广泛，如线聚焦系统、电影摄放镜头、传真机和印刷排版机的扫描成像系统等均需柱面光学元件的参与。这些应用，需要相应的高精度检测手段来保障测量结果的准确、可靠。
在分析了几种柱面测量方法优缺点的基础上，选用柱面绝对检验方法作为测量柱面的理论基础。用ZEMAX软件分析了柱面镜组，设计、加工了机械结构，并对柱面镜组进行了计算机辅助装校。利用斐索型干涉仪为主机，配以外设计算机等，对被测柱面镜进行三次绝对干涉测量，即常规测试、被测柱面镜旋转180°测试以及猫眼位置测试，提出了干涉图空域的确定方法和保证干涉图空间一致性的方法。消除了由干涉仪、柱面透镜组、标准参考平面等引入的误差，提高了被测柱面的测量精度。 |
| 【论文题纲】 |
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中文摘要 |
5-6 |
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英文摘要 |
6-9 |
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1 绪论 |
9-12 |
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1.1 课题的研究背景 |
9-10 |
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1.2 本论文的主要工作 |
10-12 |
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2 柱面绝对检验技术 |
12-27 |
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2.1 柱面检测的几种方法 |
12-14 |
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2.1.1 计算全息干涉测量法 |
12-13 |
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2.1.2 预先标定法 |
13-14 |
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2.1.3 三柱面互检技术 |
14 |
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2.2 带空心直角棱镜的柱面绝对检验方法 |
14-18 |
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2.2.1 波面(面形)多项式表达下的奇偶对称性 |
15 |
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2.2.2 柱面绝对检验原理 |
15-18 |
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2.3 多干涉图的组合测试 |
18-26 |
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2.3.1 单干涉波面的移相法测量 |
18-20 |
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2.3.2 多干涉图的空间一致性要求 |
20-21 |
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2.3.3 利用移相干涉图的空间位置自动识别 |
21-24 |
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2.3.4 非圆域干涉图的数字化旋转 |
24-26 |
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2.4 本章小结 |
26-27 |
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3 柱面镜组的研制 |
27-45 |
|
3.1 柱面镜组的光学设计 |
27-31 |
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3.1.1 波像差概念 |
27-28 |
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3.1.2 光学系统的质量评价 |
28 |
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3.1.3 光学设计软件介绍：ZEMAX |
28-29 |
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3.1.4 柱面镜组的构建、评价 |
29-31 |
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3.2 柱面镜组的结构设计 |
31-32 |
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3.3 柱面镜组计算机辅助装校 |
32-44 |
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3.3.1 辅助装调中的寻优模型的建立 |
32-35 |
|
3.3.2 辅助装调中的优化算法的探讨 |
35-40 |
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3.3.3 柱面镜组的辅助装校 |
40-44 |
|
3.4 本章小结 |
44-45 |
|
4 实验系统 |
45-52 |
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4.1 柱面镜波差检测系统 |
45-47 |
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4.1.1 移相式斐索干涉仪系统 |
45 |
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4.1.2 柱面绝对检验测试系统 |
45-47 |
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4.2 空心直角棱镜 |
47-49 |
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4.3 调整机构 |
49-50 |
|
4.3 柱面绝对检验的软件系统 |
50-51 |
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4.3.1 柱面绝对检验软件系统的设计要求 |
50-51 |
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4.3.2 柱面绝对检验软件系统的界面 |
51 |
|
4.4 本章小结 |
51-52 |
|
5 实验过程与结果 |
52-62 |
|
5.1 实验过程 |
52-55 |
|
5.2 辅助装较实验结果 |
55-58 |
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5.2 空心直角棱镜测试 |
58-59 |
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5.2.1 空心直角棱镜反射面面形测试 |
58-59 |
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5.5.2 空心直角棱镜角度误差的修正参数 |
59 |
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5.4 柱面镜测试 |
59-61 |
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5.4.1 柱面绝对检验测试(对被测柱面的测试) |
59-61 |
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5.5 本章小结 |
61-62 |
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6 全文总结 |
62-63 |
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6.1 本文的主要工作 |
62 |
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6.2 需要改进的地方和有待解决的问题 |
62-63 |
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致谢 |
63-64 |
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参考文献 |
64-67 |
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附录A |
67 |
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| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.94992 |
