| 【论文摘要】 |
红外线的辐射波长约0.77~1000μm,凡是存在于自然界的物体,例如人体、火焰、冰等都会辐射出红外线,只是辐射的红外线波长不同而已。依据此原理制作的红外探测器无论在军事上还是商业上都有广泛的应用,如红外成像,红外制导、无损探伤、卫星的遥感、空气污染的监测等。热释电红外探测器由于其无需致冷、光谱响应无波长选择性,成本低廉和器件结构简单等特点,是很有前景的一类红外探测器。针对热释电红外探测器的研究,一方面瞄准提高单个探测器的性能,制作更大扫描阵列,另一个研究目标就是使热释电红外探测器具有更低的成本和更好的易用性。发展非制冷、微型化、薄膜化、低成本的器件制作工艺,提高薄膜器件或系统性能,是制备钽酸锂薄膜和制作热释电红外探测器的研究发展方向。
溶胶-凝胶法制备薄膜能够精确控制薄膜的化学计量比和掺杂,易于制备大面积的薄膜,适于薄膜的大批量生产。具有设备简单、成本低、可与微电子工艺技术相兼容的优点。本文围绕热释电薄膜的制备与钽酸锂薄膜红外探测器的设计,开展了三方面的研究工作:
1.讨论了热释电红外探测器的探测机理,使用有限元软件针对探测器复合层膜结构和凳型微桥结构的模型进行了热场分析,仿真结果... |
