| 【中文题名】 | 以(Ni_(0.82)Fe_(0.18))_(1-x)Nb_x为种子层的坡莫合金薄膜的各向异性磁电阻及磁性能研究 |
| 【英文题名】 | Study on the Anisotropic Magnetoresistance and Magnetic Properties of Permalloy Thin Films Through Growth on Seed Layer of (Ni_(0.82)Fe_(0.18))_(1-x)Nb_x |
| 【学科专业】 | 理论物理 |
| 【论文级别】 | 硕士论文 |
| 【投稿时间】 | 2003-8-4 |
| 【中关键词】 | 坡莫合金薄膜,种子层,各向异性磁电阻,矫顽力,磁化强度, |
| 【英关键词】 | permalloy thin films,seed layer,anisotropic magnetoresistance coercivity,saturation magnetization, |
| 【分类导航】 | 数理科学和化学>物理学>固体物理学>薄膜物理学>薄膜的性质>磁性质 |
| 【论文摘要】 |
本文探索了提高坡莫合金(Ni_(0.82)Fe_(0.18))薄膜的各向异性磁电阻(AMR)和磁性能，以适应其应用于高灵敏度磁头和传感器的途径。采用一种新的材料(Ni_(0.82)Fe_(0.18))_(1-x)Nb_x作种子层，用直流多靶磁控溅射设备制备了系列坡莫合金薄膜样品：(Ni_(0.82)Fe_(0.18))_(1-x)Nb_x(dnm)／Ni_(0.82)Fe_(0.18)(tnm)／Ta(3nm)(Ta为保护层)，并对其磁阻回线、磁滞回线及微结构进行了测试。以实验结果为依据，分析了Nb原子的百分含量x和种子层厚度d对薄膜AMR和磁性能的影响及产生这种影响的可能机制，并与传统的种子层材料Ta作了比较。通过实验和测试分析，我们得到如下结论：
(1)样品的AMR明显地依赖于种子层中Nb原子的百分含量x，先随x的增加先增大后减小，在x=27.1％处，AMR随x的变化曲线中出现一峰值；样品的AMR随种子层的厚度d的增加也是先增大后减小，在临界厚度d为5.32nm时达到一个最大值；与以传统材料Ta为种子层的坡莫合金薄膜相比，在坡莫合金层厚度t为10-45nm的范围内，前者的AMR值比后... |
| 【论文题纲】 |
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中文摘要 |
4-6 |
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英文摘要 |
6-8 |
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第一章 绪论 |
8-15 |
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1.1 研究坡莫合金薄膜的目的和意义 |
8-9 |
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1.2 坡莫合金薄膜的研究现状 |
9-12 |
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1.3 本文的研究目的和主要研究内容 |
12-15 |
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第二章 薄膜的制备 |
15-20 |
|
2.1 实验设计 |
15-16 |
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2.2 镀膜 |
16-20 |
|
2.2.1 仪器装置及原理 |
16 |
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2.2.2 定标 |
16-19 |
|
2.2.3 制备薄膜 |
19-20 |
|
第三章 各向异性磁电阻AMR的研究 |
20-27 |
|
3.1 Nb原子百分含量x对AMR的影响 |
20-24 |
|
3.1.1 Nb原子百分含量x对AMR的影响 |
20-21 |
|
3.1.2 X射线衍射测试及分析 |
21-23 |
|
3.1.3 晶粒大小的计算 |
23-24 |
|
3.2 种子层厚度d对AMR的影响 |
24-25 |
|
3.3 不同种子层的AMR比较 |
25-27 |
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第四章 磁性能的研究 |
27-31 |
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4.1 磁滞回线的测量 |
27-28 |
|
4.2 Nb原子百分含量x对磁性能的影响 |
28-29 |
|
4.3 种子层厚度d对磁性能的影响 |
29 |
|
4.4 不同种子层的磁性能比较 |
29-31 |
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第五章 磁性能的解析研究 |
31-36 |
|
5.1 自发磁化强度的累计展开 |
31-33 |
|
5.2 自发磁化强度的变分计算 |
33-36 |
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第六章 结束语 |
36-37 |
|
参考文献 |
37-41 |
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攻读硕士期间工作介绍 |
41-42 |
|
致谢 |
42 |
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| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.24423 |
