| 【中文题名】 | 用于SrBi_4Ti_4O_（15）-基铁电电容的LaNiO_3导电氧化物薄膜的取向控制与性能研究 |
| 【英文题名】 | Orientation Control and Properties of LaNiO_3 Oxide Thin Film for SrBi_4Ti_4O_(15)-Ferroelectric Capacity |
| 【学科专业】 | 材料物理与化学 |
| 【论文级别】 | 硕士论文 |
| 【投稿时间】 | 2007-9-14 |
| 【中关键词】 | 镍酸镧,钛酸锶铋,化学沉积,导电氧化物,铁电薄膜,取向度 |
| 【英关键词】 | LaNiO3,SrBi4Ti4O15,chemical deposition,electrode oxide film,ferroelectric film,orientation factor,polarization, |
| 【分类导航】 | 数理科学和化学>物理学>固体物理学>薄膜物理学>> |
| 【论文摘要】 |
准立方钙钛矿结构的LaNiO_3 (LNO)导电氧化物薄膜具有较低的电阻率并且晶格常数为0.384nm与大多数铁电薄膜的晶格常数相似,因此LNO薄膜在作为铁电薄膜底电极方面的应用拥有广阔前景。具有优良的抗疲劳性能和较高的居里温度Tc的典型铋系层状结构的SrBi_4Ti_4O_(15)(SBTi)作为铁电存储材料也越来越受到重视。SBTi晶体结构具有高度各向异性,使得其性能依赖于材料的择优取向。由于以上各方面的因素,本文围绕高性能的LNO薄膜及SBTi/LNO异质结构薄膜的制备与表征进行,取得了一些有意义的结果。
主要内容如下:
1.采用溶胶凝胶方法在Si(100)衬底上制备了(110)取向的LNO导电氧化物薄膜。研究了不同退火温度、预处理温度及时间等工艺条件对于薄膜样品的电阻率和结构的影响,总结了制备较低电阻率的(110)取向LNO薄膜最佳制备工艺,并对相应的作用机制进行了分析。
2.同样采用溶胶凝胶方法在Si(100)衬底上制备了(100)取向的LNO导电氧化物薄膜。研究了前驱体溶液中醋酸添加量、浓度对于(100)取向的LNO薄膜的结构和电阻率的影响,对各种影响因素的作用机... |
| 【论文题纲】 |
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摘要 |
4-6 |
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ABSTRACT |
6-10 |
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第一章 绪论 |
10-14 |
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1.1 镍酸镧(LaNiO_3)晶体结构 |
10 |
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1.2 LaNiO_3 氧化物电极的导电机理 |
10-11 |
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1.3 LaNiO_3 氧化物电极的在铁电薄膜中的应用 |
11-12 |
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1.4 锶铋钛SrBi_2Ti_4O_(15) (SBTi)晶体结构 |
12-13 |
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1.5 本论文的研究内容 |
13-14 |
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第二章 实验研究方法 |
14-20 |
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2.1 薄膜的制备技术 |
14-16 |
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2.2 薄膜表征析方法 |
16-20 |
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第三章 实验所用原料及仪器 |
20-24 |
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3.1 原料 |
20 |
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3.2 实验所用仪器 |
20-21 |
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3.3 实验过程 |
21-24 |
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第四章 LaNiO_3(LNO)薄膜的制备及表征 |
24-44 |
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4.1 （110）取向的LNO 薄膜的电学性能分析 |
24-26 |
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4.2 LNO（110）薄膜XRD 图谱分析 |
26-35 |
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4.3 （100）取向LNO 薄膜的制备研究 |
35-39 |
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4.4 （110）和（100）取向的LNO 薄膜的工艺优化及表征 |
39-43 |
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4.5 本章小结 |
43-44 |
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第五章 沉积在LNO 薄膜上的SBTi 的制备及表征 |
44-57 |
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5.1 沉积在LNO（100）上的SBTi 的制备及外延关系研究 |
44-48 |
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5.2 SBTi 薄膜沉积在LNO（110）上的研究 |
48-52 |
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5.3 LNO（110）上外延生长SBTi（104）薄膜研究 |
52-56 |
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5.4 本章小结 |
56-57 |
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第六章 结论 |
57-59 |
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参考文献 |
59-63 |
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附录 |
63-64 |
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致谢 |
64 |
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| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.25353 |
