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| 【中文题名】 | 透反射率测量仪自动化软件设计 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【英文题名】 | Design of Software of Automatic Measurement System of Transmissivity and Reflectivity | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【学科专业】 | 光学工程 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【论文级别】 | 硕士论文 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【投稿时间】 | 2007-10-18 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【中关键词】 | 透射率,反射率,自动化测量,数据采集,数据拟合, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【英关键词】 | transmissivity,reflectivity,automatic measurement,data acquisition,data-fitting, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【分类导航】 | 工业技术>机械、仪表工业>仪器、仪表>光学仪器>光学计量仪器> | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【论文摘要】 | 本文在透反射率测量仪自动化系统硬件设计的基础上,实现了自动化测量的软件控制、数据采集以及数据拟合等功能。 根据步进电机旋转台误差的标定值,本文对步进电机旋转台运行角度的误差进行数据拟合,得出步进电机旋转台单步运行误差的修正值,提高步进电机旋转台转动角度值的准确性。然后根据整个自动化测量过程的要求,详细介绍了测量流程并编写了自动控制程序。论文还介绍了数据采集方案以及采集程序的设计和优化。 论文在对薄膜的计算理论进行简要介绍的基础上,编制了膜系反射率、膜系反射率随角度变化以及膜系反射率随厚度、波长等参数变化的计算软件。 测得膜片反射率后,通过数据拟合得到膜层的厚度、折射率等参数。针对两层膜的评价函数是一个多峰值函数的特点,改进求总极值的算法,提高了数据拟合结果的准确性和可重复性。可以利用拟合得到的参数值与实际镀膜时的理论值相比较,确定薄膜镀制过程中各膜层参数的误差,为下次镀膜的误差修正提供依据。 该透反射率测量软件系统实现了测量过程的自动化,达到了使用要求。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【论文题纲】 |
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| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.361126 |
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| 付费论文：有参考文献 300元 | |
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