|
| 【中文题名】 | cMUT的设计与仿真 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【英文题名】 | Design and Simulation of cMUT | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【学科专业】 | 微电子与固体电子学 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【论文级别】 | 硕士论文 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【投稿时间】 | 2007-8-3 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【中关键词】 | cMUT,ANSYS,10.0,模态分析,谐响应, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【英关键词】 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【分类导航】 | 工业技术>自动化技术、计算机技术>自动化技术及设备>自动化元件、部件>发送器（变换器）、传感器> | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【论文摘要】 | 本文涵盖cMUT(电容式微机械超声波传感器)的设计原理和公式推导,分析了cMUT的机电耦合特性,通过使用模拟软件ANSYS 10.0对器件进行仿真模拟,通过静力学分析,模态分析,谐响应分析,得到了薄膜的模态频率、谐响应频率、薄膜厚度、尺寸、吸合电压等一系列有价值的数据,有效的指导了cMUT的结构设计以及电路设计。同时,结合国内外cMUT相关的研究结果,设计了cMUT的光刻掩模板,克服了cMUT工艺中双面光刻的技术问题,结合工艺条件和成本因素,使用键合技术设计了两套实验方案,以及制订了整个cMUT制作的工艺流程,为后续的制造做好了坚实的准备工作。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【论文题纲】 |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 【DOI】 | LunWen.ID:2.2008.384189 |
 | |
| 付费论文：有参考文献 300元 | |
| |
| 1、注册会员 2、购买本文 3、下载文章 | |
| 注:此文为收费论文，需付费购买。每页大约1000字。 |
代写论文流程
载入中…
|
自动化技术最新论文
自动化技术热门论文